Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublicationDeposition by ion beam sputtering of CNx thin films: the influence of the composition of the sputering ion beam and temperature
Abrasonis, G.; Gago, R.; Vinnichenko, M.; Kreissig, U.; Mücklich, A.; Kolitsch, A.; Möller, W.
Abstract
Abtrakt wird nachgereicht
Keywords: ion beam sputtering; CNx
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Lecture (Conference)
Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und IOnenstrahlprozessen", 16.-18.03.2005, Mühlleithen, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-8263
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