Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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MD-Simulation der Bildung von ta-C-Schichten bei C+ Ionendeposition

Jäger, H.-U.

Abstract

Der Vortrag berichtete über unsere Simulationen zur Ionenstrahlabscheidung von
Diamant-ähnlichen Kohlenstoffschichten. Zuerst wurden die typischen Resultate
einer Rechnung vorgestellt. Danach wurden der sp3-Gehalt der Filme,
ihre Dichte, die Bindungsenergie der Atome und die Struktur der Graphit-ähnlichen Filmoberfläche erläutert.

  • Lecture (others)
    Bereichsseminar Oberflächenphysik, MPI für Plasmaphysik, Garching, 17. Mai 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4962

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