Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Entwicklung eines Justierdetektors für Elektronenstrahlanlagen

von Borany, J.; Beyer, V.

Keywords: Justierdetektor; MeV-Ionenimplantation; Elektronenstrahl-Lithografie; Si-Technologie

• Other report
  Abschlußbericht zum BMBF/Leica Projekt "JD-50", Oktober 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4643