Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublicationThe Helmholtz Innovation Lab for ultra-short time annealing
Rebohle, L.; Begeza, V.; Garcia Munoz, A.; Schumann, T.; Neubert, M.; Xie, Y.; Prucnal, S.; Grenzer, J.; Hübner, R.; Zhou, S.; Skorupa, W.
Abstract
Der Vortrag stellt das Helmholtz Innovation Lab für Ultrakurzzeitausheilung vor. Im zweiten Teil werden experimentelle Ergebnisse bei der Kristallisation von dünnen amorphen Halbleiterschichten (Si, Ge, NiGe) mittels magnetron sputtering und Blitzlampenausheilung diskutiert.
Keywords: Helmholtz Innovation Lab; flash lamp annealung; ultra-short time annealing; magnetron sputtering; nickel germanide
Involved research facilities
- Ion Beam Center DOI: 10.17815/jlsrf-3-159
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- DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 29890) publication
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Lecture (Conference)
43. Nutzertreffen Heißprozesse und RTP, 23.10.2019, Stuttgart, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-29890
Years: 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015
