Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Schlußbericht: Anwendungsgerechte Systemintegration und Zuverlässigkeit für die intelligente mikro-mechanische Sensorik (AN-SYS), Teilvorhaben: Silizium-Glas- und Silizium-Silizium-Bonden

Schmidt, B.; Lange, K.; Harz, M.; Nitsche, P.

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  BMBF-Verbundprojekt, Förderkennzeichen 13 MV 0266, Mai 1997

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