Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublicationAbscheidung von Si/SiO2-Cluster-Schichten durch reaktives Magnetron-Sputtern
Seifarth, H.; Grötzschel, R.; Markwitz, A.; Matz, W.; Nitsche, P.; Rebohle, L.
-
Lecture (Conference)
8. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Dresden, Sept. 14 - 17, 1997
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2467
Years: 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015