Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Plasma-Immersions-Ionenimplantation für große Oberflächen

Möller, W.; Günzel, R.; Mändl, S.; Richter, E.

• JOT 37 (1997) II-IV

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2333