Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Overpressurized bubbles versus voids in helium implanted and annealed silicon

Fichtner, P. F. P.; Kaschny, J. R.; Yankov, R. A.; Mücklich, A.; Kreißig, U.; Skorupa, W.

• Appl.Phys.Lett. 70 (1997) 732

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2312