Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ionenenergieverteilung während der ZnO-Abscheidung durch Magnetronsputtern: keramisches vs. metallisches Target

Wilde, C.

Keywords: ion energy distribution; sputtering; magnetron; mass spectrometry; TCO; AZO

Involved research facilities

• Ion Beam Center DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

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• DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 16351) publication

• Lecture (Conference)
  Transparente leitfähige Oxide - Festkörperphysikalische Grundlagen und Technologie, 16.-17.05.2011, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-16351