Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublicationPlasma-Immersions-Ionenimplantation für große Oberflächen
Möller, W.; Günzel, R.; Mändl, S.; Richter, E.
- JOT 37 (1997) II-IV
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2333
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