Titel
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Sputterkammer
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Beschreibung
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In der Sputterkammer werden Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen herausgelöst. Sie gehen in die Gasphase über. Wissenschaftler*innen können so unter anderem hochreine Oberflächen präparieren oder die chemische Zusammensetzung von Oberflächen analysieren.
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Copyright
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HZDR / S. Floss
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Bild-Nr.
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59361
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Datum
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02.09.2019
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