Titel
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Nanostruktur von Halbleitersubstraten
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Beschreibung
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Die Herstellung einer photolithographischen Struktur lichtempfindlicher Lacke findet im Reinraum im Ionenstrahlzentrum statt. So wird jegliche Kontamination durch Staubpartikel vermieden.
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Copyright
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HZDR/Detlev Müller
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Bild-Nr.
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54391
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Datum
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31.01.2017
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