Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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Advanced Thermal Processing of Semiconductor Materials in the msec-Range

Skorupa, W.

Abstract

Vortrag anlässlich der Begutachtung eines japanischen Grossprpojektes

Keywords: Flash lamp annealing; silicon carbide; silicon

Sonstiger Vortrag
Projekttreffen OSTEC Advanced Quantum Beam Project, 27.09.2006, FZ Dresden-Rossendorf, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9337

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