Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ion bombardment for stress release in cubic boron nitride thin films

Möller, W.; Abendroth, B.; Gago, R.; Kolitsch, A.

• Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
  International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, 02.-06.05.05, San Diego, USA

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-8295