Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

1 Publikation

Blitzlampenspiegelanordnung

Voelskow, M.; Anwand, W.; Skorupa, W.

Abstract

Es wird eine Blitzlampenspiegelanordnung vorgestellt, die eine homogene und schnelle Erwärmung von Halleitersubstraten bei unwesentlich höheren Anlagenkosten ermöglicht.

  • Patent
    Patentanmeldung 10 2004 060 557.2

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-7088

Jahre: 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015