MoBeE, Prozesssteuerung an der Molekularstrahl-Epitaxie-Anlage

Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Gesamtzahl lt. Auswahl: 1 Datensatz

1 Publikation

Heer, R.; Wagener, M.; Winnerl, S.

Abstract

Dokumentation zu einem IDL-basierten Steuerprogramm für die Prozesssteuerung einer MBE-Anlage

Bericht, sonstiger
Jülich: Interner Bericht FZJ-ZEL-IB-500104, 2004
86 Seiten

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-7038

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