Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
2 PublikationenIn situ Verfahren zur Filmoptimierung bei der ITO-Abscheidung
Rogozin, A.; Vinnichenko, M.; Kolitsch, A.
Abstract
Es wird der Messaufwand für die Bestimmung der elektrischen Parameter bei der ITO-Abscheidung gesenkt.
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Patent
Patentanmeldung 103 12 593.0 -
Patent
DE 103 12 593 A1
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-5708
Jahre: 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015