Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Implantationsdotierung von Diamantschichten für Mikrosystem-Anwendungen

von Borany, J.; Fontaine, F.; Heera, V.

Keywords: Diamant; Dotierung; Ionenimplantation

• Bericht, sonstiger
  Abschlußbericht zum BMBF-Projekt 16SV 548/2, Juni 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4641