Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, das die Erzeugung von miniaturisierten, integrierten Abtastnadeln, bestehend aus Support, Biegebalken und hohler Nadelspitze mit und ohne Apertur, erlaubt und die somit bevorzugt für den Einsatz in der SNOM geeignet sind.