Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Gettering of iron and oxygen at cavities formed by helium ion implantation in Czochralski and float-zone silicon

Kaschny, J. R.; Fichtner, P. F. P.; Yankov, R. A.; Fukarek, W.; Mücklich, A.; Kreißig, U.; Peeva, A.; Danilin, A. B.; Skorupa, W.

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  E-MRS´98, Strasbourg, June 16-19, 1998

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2561