Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ionenimplantation in 6H-SiC; Elektrische Untersuchungen und Sublimation

Wirth, H.

• Sonstiger Vortrag
  Daimler-Benz-AG, FZ Frankfurt/M., Jan. 8, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2526