Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Hochenergieimplantation in Silicium: Defekt-Engineering und Gettern

Skorupa, W.

• Sonstiger Vortrag
  Institut für Physik, FSU Jena, May 16, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2516