Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

MeV-Implantation in Silicium

Skorupa, W.

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  20. Dt. Nutzertreffen Ionenimplantation, SIMEC-Werk der Siemens AG, Dresden, Oct. 29 -30, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2469