Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ion implantation of Ge in Si, characterization in Si_1-xGe_x structures

Ganetsos, T.; Mair, G. L. R.; Teichert, J.; Bischoff, L.; Aidinis, C.

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  XIIIrd Greek Conf. in Solid State Physics, Thessaloninki, Greece, Sept. 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2390