Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublikationTEM investigation of CxSi defects in C implanted silicon
Werner, P.; Eichler, S.; Mariani, G.; Kögler, R.; Skorupa, W.
- Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 252
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2357
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