Engineering for NEMS with ion beams & flash annealing

Skorupa, Wolfgang

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Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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1 Publikation

Engineering for NEMS with ion beams & flash annealing

Skorupa, W.

Abstract

Engineering for NEMS with ion beams & flash annealing will be presented based on recent results of the Rossendorf group working for Semiconductor Materials Modification by Ion Beams.

Keywords: NEMS; ion implantation; flash annealing

Beteiligte Forschungsanlagen

Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

Verknüpfte Publikationen

DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 23390) publication

Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
Workshop on Ion Implantation - improving the MEMS processes?, 03.03.2016, Erfurt, Germany

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-23390

Jahre: 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015