Instrumentelle Ausstattung und Geräte
- Abscheidung und Kurzzeittemperung(1)
- Elektrische Charakterisierung(2)
- Optische Charakterisierung(3)
- Magnetische Charakterisierung(4)
Abscheidung und Kurzzeittemperung
Bild | Beschreibung |
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Blitzlampentemperung
Verantwortlich: T. Schumann, L. Rebohle, S. Prucnal |
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Magnetronsputtern
Responsible: T. Schumann |
Plasmagestützte Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)
Verantwortlich: L. Rebohle |
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mit FWIO: Atomlagenabscheidung (ALD)
Verantwortlich: L. Rebohle (FWIM), T. Schönherr (FWIO) |
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Laserausheilung: COMPexPRO 201
Verantwortlich: S. Zhou |
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Glovebox
Verantwortlich: C. Cherkouk |
Elektrische Charakterisierung
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Hall-Effekt-Messsystem HMS 9709A von LakeShore:Messung von elektrischen Transportgrößen (Widerstand, Ladungsträgerdichte und Beweglichkeit) in Abhängigkeit von Temperatur und Magnetfeld.
Verantwortlich: S. Zhou |
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Widerstandsmessung
Verantwortlich: T. Schumann |
Optische Charakterisierung
Bild | Beschreibung |
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Optische Messplätze
Verantwortlich: S. Prucnal, L. Rebohle |
Magnetische Charakterisierung
Bild | Beschreibung |
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Quantum Design: SQUID-VSMDas SQUID-VSM ist ein hochempfindliches Magnetometer das die Empfindlichkeit eines SQUID (Superconducting Interference Device) mit der höheren Geschwindigkeit eines VSM (Vibration Sample Magnetometer) kombiniert. Man kann sehr schwache magnetische Signale messen (sowohl Temperaturabhängigkeit als auch Magnetfeldabhängigkeit).
Verantwortlich: S. Zhou |
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