Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Advanced Thermal Processing of Semiconducting Materials Using Flash Lamp Annealing

Skorupa, W.; Panknin, D.; Voelskow, M.; Anwand, W.; Gebel, T.; Yankov, R. A.

Keywords: thermal processing; flash lamp annealing; semiconductors

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  Materials Research Society Spring Meeting, 13.-16.04.2004, San Francisco, USA

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9922