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Maschinendaten

Prozesswerte Beamline LA1 - NP

Vakuumanlage

Vakuummesswert LA1-VMG.10 3,4e-10mbar
Vakuummesswert LA1-VMG.11 1,0e-04mbar
Vakuummesswert NP-VMG.01 9,3e-01mbar
Vakuummesswert NP-VMG.02 1,0e-04mbar
Vakuummesswert NP-VMG.03 3,4e-09mbar
Vakuummesswert NP-VMG.11 0,0e+00mbar

Vakuumpumpe LA1-VPG.01läuft 1,0e-10mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.02läuft 1,1e-10mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.03läuft 1,8e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.04läuft 2,2e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.05läuft 2,2e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.06läuft 5,4e-10mbar
Vakuumpumpe NP-VPG.01läuft 4,6e-09mbar
Vakuumpumpe NP-VPG.02läuft 1,5e-09mbar

Vakuumventil LA1-VVQ.01offen
Vakuumventil LA1-VVS.12offen
Vakuumventil LA1-VVQ.02offen
Vakuumventil NP-VVS.01offen

Dieses Seite wurde automatisch erstellt.

Autor: K.-W. Leege